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全数控型制备晶体的加热电源系统研究
 
     论文目录
 
致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
1 引言第10-18页
    1.1 研究背景和意义第10-11页
    1.2 制备晶体的加热电源发展现状第11-14页
    1.3 制备晶体的加热电源发展趋势第14-16页
    1.4 本文主要研究内容第16-18页
2 电源系统方案设计第18-40页
    2.1 电源系统技术指标第18页
    2.2 电源系统框架设计第18-22页
        2.2.1 单模块开关电源方案第19-20页
        2.2.2 多开关电源模块并联方案第20-22页
    2.3 电源柜的设计第22-24页
        2.3.1 电源柜的功率电路设计第22-23页
        2.3.2 电源柜的控制电路设计第23-24页
    2.4 电源模块的设计第24-37页
        2.4.1 三相整流电路第25页
        2.4.2 ZVS-FB-PWM变换器第25-36页
        2.4.3 高频水冷变压器及次级整流电路第36页
        2.4.4 控制电路功能设计第36-37页
    2.5 保护机制的设计第37-38页
    2.6 本章小结第38-40页
3 电源模块功率电路参数计算及选型第40-46页
    3.1 三相整流电路参数计算第40-41页
    3.2 IGBT及吸收电容参数计算第41-42页
    3.3 高频变压器参数计算第42-43页
    3.4 全波整流电路参数计算第43-44页
    3.5 隔直电容参数计算第44-45页
    3.6 本章小结第45-46页
4 全数字化控制系统设计第46-58页
    4.1 数字控制器硬件设计第46-49页
    4.2 数字控制器软件设计第49-53页
    4.3 人机交互系统软件设计第53-56页
    4.4 电源模块实物和建模设计第56-57页
    4.5 本章小结第57-58页
5 电路仿真及实验验证第58-70页
    5.1 电路仿真第58-59页
    5.2 实验验证第59-68页
        5.2.1 主要波形分析第60-65页
        5.2.2 电源效率与电能质量第65-68页
    5.3 本章小结第68-70页
6 结论第70-72页
参考文献第72-76页
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果第76-80页
学位论文数据集第80页

 
 
论文编号BS4288035,这篇论文共80
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